1、温度稳定性好
电容式传感器的电容值与电极材料无关，有利于选择温度系数低的材料，因其发热性小，对稳定性影响极小。
2、结构简单
电容式传感器结构简单，易于制造并确保高精度，并且可以制作得很小以实现某些特殊的测量；能够在高温、强辐射、强磁场等恶劣环境中工作，能够承受显著的温度变化、高压、高冲击、过载等；能够测量超高温和低压差，以及测量磁功。
3、动态响应好
由于带电电极板之间的静电引力很小，电容式传感器需要的能量很小，而且它们的可移动部件可以做得很小很薄，这意味着它们很轻。因此，它们的固有频率高，动态响应时间短，可以在几兆赫的频率下工作，特别适合动态测量。由于其低介电损耗，系统可以以更高的频率供电，从而产生更高的工作频率。它可以用来测量快速变化的参数。
4、可以非接触测量且灵敏度高
它可以非接触测量旋转轴的振动或偏心度、小滚珠轴承的径向间隙等。当使用非接触测量时，电容传感器具有平均效果，可以减少工件表面粗糙度对测量的影响。
