Aosong Electronics绝对湿度传感器的专利使热敏电阻能够快速感应空气湿度的变化，从而提高其自身的响应速度，并极大地提高了绝对湿度传感器的灵敏度。近日，广州奥松电子新型MEMS半导体传感器芯片生产线正式投产。公司成立仅七年，就在许多传感器领域取得了成就，例如温度和湿度传感器以及气体传感器。在日常生活中，空气中水蒸气的含量不仅会影响空气的湿度，还会使空气显得潮湿或干燥。绝对湿度传感器用于测量空气的真实干燥和湿度，但是市场上的绝对湿度传感器使用的是玻璃密封热敏电阻作为湿度传感器。由于其工艺结构的影响，热敏电阻对外部温度的响应非常缓慢，并且加热到稳定温度需要花费数十秒钟的时间。此外，由于在正常使用中响应速度较慢，因此灵敏度较低。为此，Aosong Electronics申请了一项名为“绝对湿度传感器，热敏电阻和热敏电阻的制造方法”的发明专利。 （申请号：201711494556.0），申请人是广州奥松电子有限公司。图1绝对湿度传感器的框图绝对湿度传感器的框图如上图1所示。它主要包括位于左侧和右侧的第一测量单元和第二测量单元。图1至图4分别表示水分子，第一壳，热敏电阻和第二壳。第一壳体2是具有窗口的非封闭壳体，使得热敏电阻3部分地暴露在壳体外部，然后穿过窗口和与水分子接触的空气1。在绝对湿度传感器的工作状态下，绝对湿度传感器被通电，以使第一测量单元和第二测量单元流过相同的电流，并且最初两个测量单元中的热敏电阻具有相同的电阻值。第一测量单元中的热敏电阻3直接接触空气中的水分子1以改变电阻。此时，计算第一测量单元中的热敏电阻3的电阻，并且将该电阻与第二测量单元中的热敏电阻3的电阻值进行比较，并且计算两者之间的差。最后，通过算法将电阻差转换为实时的绝对空气湿度变化，从而计算出空气中水蒸气的密度。图2绝对湿度传感器中热敏电阻的制造方法。上图2是绝对湿度传感器中热敏电阻制造方法的流程图。首先，对晶片基板进行热氧化（S1），然后通过低压化学气相沉积，在热氧化之后在基板的表面上生长绝缘膜（S2）。然后，在绝缘膜层上蚀刻掩模，并且将掩模覆盖在绝缘膜层上的非微热板层区域上（S3），并且根据磁控管将层镀在覆盖有掩模的绝缘层上溅射。镀覆完成后，剥离掩模以使微热板层不会完全覆盖绝缘层（S4），然后在绝缘层和微热板层上镀保护层（S5）。最后，用砂轮切割上述基板以获得电阻单元，将其模压接合和引线接合以获得单个热敏电阻（S6）。通过上述方法生产热敏电阻，生产周期结束，产量高，体积小。简而言之，奥松电子的专利绝对湿度传感器使热敏电阻能够快速感应空气湿度的变化，从而提高其自身的响应速度，并大大提高了绝对湿度传感器的灵敏度。作为国内一流的湿度传感器制造基地，傲松电子不仅拥有雄厚的技术力量，而且非常重视产品研发。它与国内外科研机构建立了多次合作关系，也为我国的湿度检测技术的进步做出了许多贡献。关于Guardian深圳市Guardian知识产权服务有限公司由知识产权专家，律师和专利代理组成，他们已经在华为和其他财富500强公司中工作了多年。他们熟悉中国和欧洲的知识产权理论和实践，并在全球范围内申请和部署知识产权。 ，诉讼，