随着5nm和6nm工艺的大规模生产以及即将推出的第二代5nm工艺，芯片代工厂台积电对极端紫外光刻机的需求也大大增加。根据国外媒体援引产业链消息来源的最新报道，台积电已向阿斯玛订购了至少13台2021极紫外光刻机。 Asim目前是世界上唯一可以提供极紫外光刻机的制造商。台积电和三星所需的所有极紫外光刻机也都由Asim提供。从过去两年的Asim极紫外光刻机的交付量来看，台积电在2021年下的订单将需要近半年的时间才能完成。在2019年，ASM共向客户交付了26台极限紫外光刻机，其中13台交付期为半年。今年上半年，ASM运送了13台极端紫外线光刻机，但在完成安装和测试后，只有9台能够确认收入。但是，Asmar的极紫外光刻机的出货量也在增加，今年第三季度达到了10台。计入已发货但尚未确定其第三季度收入的极端紫外线光刻机，收入已确定。共有14个单位。从最近一个季度的Asimer财务报告中披露的消息来看，新接收的极紫外光刻机的单笔订单价格约为1.5亿欧元，而台积电在2021年已预订了至少13台。将耗资约19.5亿欧元。