据台湾经济日报报道，EUV光刻机制造商ASML首席执行官Peter Wennink带领高管访问三星，双方寻求技术和投资合作。三星希望在台积电之前获得ASML的下一代EUV设备的供应。据行业分析师称，三星正在积极追赶台积电，但台积电在高产量和低功耗方面具有优势。在7nm工艺方面，台积电首先介绍了基于FinFet的7nm技术，然后介绍了基于EUV的N7 +工艺。就5nm而言，三星和台积电的产能差距仍为20％。台湾媒体指出，供应链透露，台积电目前已经购买了35辆EUV设备，占ASML生产的一半以上，到2021年底总购买量将超过50辆。购买的EUV设备少于20台。 IT Home获悉，台湾媒体DigiTimes于今年9月表示，台积电已加快先进制造工艺的发展，到2021年底，EUV光刻机的累计数量将超过50台。相比之下，三星电子在中国的数量将少于25台。 2021年，EUVPOD（照片面膜交付盒）的购买量大大低于预期。