MEMS压力传感器

1.在汽车工业中的应用MEMS压力传感器在汽车中的新应用是传动系统压力传感，其通常用于自动装置，但也用于新的双离合器传动系统。德国制造商推出了一种MEMS解决方案，该解决方案使用油来保护硅膜的压力高达70 bar。
几年前，博世在MEMS压力传感器方面也发挥了巨大作用，当时使用多孔硅，带来了高度可靠的MEMS器件，这些器件已用于当前侧面安全气囊等应用。 2.应用于医疗市场压力传感器主要用作手术用的一次性低成本导管。
但它们也用于昂贵的设备，以感应持续气道正压通气（CPAC）机器中的压力和差动流量。 3.工业应用中的应用MEMS压力传感器的主要应用包括加热，通风和空调（HVAC），水位测量以及各种工业过程和控制应用。
例如，除了精确的高度测量之外，飞机还使用传感器来监控发动机，襟翼和其他部件。